加工碳化硅设备
首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做
2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”. 集微网报道，2022年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻2022年6月17日 由于碳化硅陶瓷的硬度非常高，达到莫氏硬度9.5级，因此这种材料的数控加工的难度也很大。虽然说普通机床可以碳化硅陶瓷，但是在加工过程中产生大量细小 碳化硅陶瓷加工用的CNC设备 知乎
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开源证券：关注碳化硅设备国产化突破和加速
2023年2月27日 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致，但部分工艺段使用专用设备，部分需要在硅设备基础上加以改进。根据我们梳理，目长晶设备已 2022年3月2日 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有望突破. 1. SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心. 1.1. SiC 特点：第三代半导体之星， 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有2022年12月26日 碳化硅加工设备 工作原理： 将需要粉碎的物料均匀连续的送入磨粉机械械主机磨室内，由于旋转时离心力作用，磨辊向外摆动，紧压于磨环，铲刀铲起物料送到磨辊与磨环之间，因磨辊的滚动而达到粉碎 碳化硅加工设备
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开源证券：产业资本开支加速 助力国产碳化硅设备厂商突围
2023年2月27日 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围. 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致，但部分工艺段使用专用 半导体 / 液晶显示器加工设备 生活 / 文化 / 工业机械 无线通信 计算机外围设备 环保和可再生能源 医疗设备 / 器材 蓝宝石单晶片产品 陶瓷金属化 / 真空部件 电子工业 加热器 压电陶瓷 按材料 氧化铝 氮化硅 碳化硅 蓝宝石 氧化 碳化硅|精密陶瓷（高级陶瓷）|京瓷碳化硅产业链也可分为三个环节：分别是上游衬底，中游外延片和下游器件制造。 图表来源：中信证券 碳化硅上游 -- 衬底 碳化硅在半导体中存在的主要形式是作为衬底材料。碳化硅晶片作为半导体衬底材料，长晶难度 一文看懂碳化硅（SiC）产业链_腾讯新闻
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机械设备行业周报：关注碳化硅设备国产化突破和加速-研究
2023年2月27日 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围. 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致，但部分工艺段使用专用设备，部分需要在硅设备基础上加以改进。. 根据我们梳理，目长晶设备已基本实现国产化，其 2021年12月7日 ③晶锭加工。将制得的碳化硅晶锭使用 X 射线单晶定向仪进行定向，之后磨平、滚磨，加工成标准直径尺寸的碳化硅晶体。④晶体切割。使用多线切割设备，将碳化硅晶体切割成 厚度不超过 1mm 的薄片。⑤晶片研磨。国内碳化硅产业链（1）碳化硅抛光|国瑞升|精磨磨抛材料专家碳化硅（SiC）抛光板. 热分布范围较小，因而变形较小。. 耐化学性更强。. 表面轮廓可用。. 因具有高导热性、低热膨胀系数、高刚度和良好的热均匀性，其抛光板变形较小。. 它还具有良好的耐化学性，有多种表面轮廓，包括凹面、平面和凸面。. 导热性强. 热碳化硅（SiC）抛光板|精密陶瓷（高级陶瓷）|京瓷
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碳化硅晶体生长工艺及设备-西安理工大学技术研究院
2017年10月25日 利用该设备开发了PVT法制备大直径碳化硅晶体的生长工艺，已成功制备直径100mm、厚度超过25mm的4H-SiC体单晶，同时也掌握了SiC晶锭切、磨、抛的基本技术，已在碳化硅晶体生长设备、生长工艺、热场模拟分析、碳化硅材料表征、晶片加工等方面积 2020年7月30日 中国碳化硅衬底领域的研究从20世纪90年代末开始，在行业发展初期受到技术水平、设备规模产能的限制，未能进入工业化生产。21世纪，中国企业历经20年的研发与摸索，已经掌握了2-6英寸碳化硅衬底的生产加工技术。中国14个碳化硅衬底项目介绍|半导体|sic|单晶|半导体材料2023年2月27日 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围. 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致，但部分工艺段使用专用设备，部分需要在硅设备基础上加以改进。. 根据该行梳理，目长晶设备已基本实现国产化，其 开源证券：产业资本开支加速 助力国产碳化硅设备厂商突围
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江苏星特亮科技有限公司（官方网站）延安星特亮科创有限
延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心2022年12月26日 碳化硅加工设备 工作原理： 将需要粉碎的物料均匀连续的送入磨粉机械械主机磨室内，由于旋转时离心力作用，磨辊向外摆动，紧压于磨环，铲刀铲起物料送到磨辊与磨环之间，因磨辊的滚动而达到粉碎 碳化硅加工设备2022年10月10日 2 碳化硅单晶的切片 作为碳化硅单晶加工过程的第一道工序，切片的性能决定了后续薄化、抛光的加工水平。 切片加工易在晶片表面和亚表面产生裂纹，增加晶片的破片率和制造成本，因此控制晶片表层裂纹损伤，对推动碳化硅器件制造技术的发展具有重要 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势综述——浙大科创
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碳化硅（SiC）抛光板|精密陶瓷（高级陶瓷）|京瓷
碳化硅（SiC）抛光板. 热分布范围较小，因而变形较小。. 耐化学性更强。. 表面轮廓可用。. 因具有高导热性、低热膨胀系数、高刚度和良好的热均匀性，其抛光板变形较小。. 它还具有良好的耐化学性，有多种表面轮廓，包括凹面、平面和凸面。. 导热性强. 热2018年8月21日 围绕反射镜研制流程，项目完成了三个子系统、十余套加工检测设备研制，全部自主掌握知识产权。 其中4米量级反应烧结炉、FSGJ-4型非球面数控光学加工中心、4米量级大型磁控溅射镀膜机三套核心装备达到国内领先水平。中科院完成目世界上最大口径碳化硅单体反射镜研制，这一2023年2月27日 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围. 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺流程同硅基半导体基本一致，但部分工艺段使用专用设备，部分需要在硅设备基础上加以改进。. 根据该行梳理，目长晶设备已基本实现国产化，其 开源证券：产业资本开支加速 助力国产碳化硅设备厂商突围
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ASM 收购LPE，SiC外延江湖中的隐形王者 联盟动态
2022年7月19日 CVD设备及工艺，碳化硅外延环节的主要壁垒 外延工艺是整个碳化硅产业中的非常关键的一环，由于现在所有的器件基本上都是在外延上实现，所以外延的质量对器件的性能是影响非常大，同时外延的质量又受到晶体和衬底加工的影响，所以外延环节在碳化硅产业链中承上启下，对产业发展起到非常
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